检查表面的平整度 薄膜干涉
的有关信息介绍如下:问题补充说明:如果等厚条纹是一组互相平行的等间距的直条纹,那么检查的平面是光洁平面,如果等厚条纹是一些疏密不均匀的变化曲线,那么根据实际条纹与直线条纹之间的差异,就可判断待测工件平面“... 如果等厚条纹是一组互相平行的等间距的直条纹,那么检查的平面是光洁平面,如果等厚条纹是一些疏密不均匀的变化曲线,那么根据实际条纹与直线条纹之间的差异,就可判断待测工件平面“凸起”或“凹陷”的情况。为什么有的等间距 有的不等关键是 为什么有的等间距 有的不等 ????????? 展开
原干涉条纹(左侧对应为尖角位置,实线为亮纹,虚线为暗纹,且假设第二条亮纹对应的垂直位置上物体表面不平整):
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(2)检验条纹(物体表面来自凸起时)
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(3)检验条纹(物体表面凹陷时)
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原理大致可以理解为,当物体表面凸起时,被薄膜反射出的两列频率相同的光在同一垂360问答直方向上相干(具体内容就不细说了)。
此时垂直方向上两列相干波的相位差恒定,等于这一位置上下两板距离的卷自土供况要送转积来两倍。
若这一位置的表面凸起,则可认为此位置上两列波的波程差变小了,因此干涉都青预挥补再条纹趋向波程差逐渐减小的尖角方向,也就是左侧(具体现象如上图示)
同理,若凹陷则趋向右。
这是别人的费没解答.