快速热处理
的有关信息介绍如下：
在半导体工艺中，需要对晶圆做快速热处理（rapid thermal processing，RTP），即在几秒或更短的时间内把晶圆加热到1000 ℃左右。
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快速热处理
Simone
发布于 2024-09-24 08:13:49
561 阅读
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