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曝光时间(半导体光刻工艺中的曝光时间)

曝光时间(半导体光刻工艺中的曝光时间)

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曝光时间(半导体光刻工艺中的曝光时间)

为了提高芯片制造中版图图形的的尺寸精度,在每个曝光图形处,都会按照曝光尺寸使曝光时间相应有所变化 。

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