光刻机是什么东西
的有关信息介绍如下:光刻机是是制造芯片的核心余卖装备。光刻机也可以称为掩模对准曝光机、曝光系统或光刻系统等。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。光刻机的种类可分为:接触式曝光、接近式曝光、投影式曝光。光刻机的工作原理是通过一系列的光源能量、形谈毁物状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成含液比例缩小后映射到硅片上。然后使用化学方法显影,得到刻在硅片上的电路图。目前,世界上只有少数厂家拥有生产光刻机的技术。